公开/公告号CN114021805A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 广东爱科环境科技有限公司;北京工业大学;
申请/专利号CN202111287427.0
申请日2021-11-02
分类号G06Q10/04(20120101);G06F30/20(20200101);G01W1/14(20060101);
代理机构51241 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙);
代理人王悦
地址 528400 广东省中山市翠亨新区临海工业园翠城道临海厂房B栋3楼
入库时间 2023-06-19 14:08:07
机译: SWMM和EFDC耦合模型的规范和储存项目环境效果评估方法和装置
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种通孔倒角或泄漏,以及至少一种拐角短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中获得了这些测量值使用带束偏转的带电粒子束检查器从具有相应的尖端到尖端短,通孔倒角短和拐角短测试区域的单元中进行位移
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段