视觉与触觉感知集成的仿生柔性神经形态器件及制备方法

摘要

本发明公开一种视觉与触觉感知集成的仿生柔性神经形态器件及其制备方法。该视觉与触觉感知集成的仿生柔性神经形态器件，包括：柔性衬底；背栅电极，其采用透明材料，形成在所述柔性衬底上；存储层，其为具有氧空位类型缺陷的氧化物薄膜，形成在所述背栅电极上；二维材料层，其在可见光波段范围内有响应，同时在弯曲的状态下发生电阻状态的改变，作为光感层以及机械应力感知层，形成在所述存储层上；源电极和漏电极，分别形成在所述二维材料层的两端，利用可见光波段的激光器与压折的方式可实现器件的电阻状态调节，将器件电阻的改变作为采集的信息，从而实现视觉与触觉信息的仿生感知。