公开/公告号CN113910119A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;
申请/专利号CN202111194922.7
发明设计人 徐暎昊;
申请日2021-10-13
分类号B24D18/00(20060101);B24B37/20(20120101);B24B37/00(20120101);
代理机构33266 杭州融方专利代理事务所(普通合伙);
代理人沈相权
地址 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
入库时间 2023-06-19 13:52:41
机译: 抛光垫层压板,抛光垫定位夹具以及在抛光台上应用抛光垫的方法
机译: 垫调理单元,包括该垫调理设备的基质抛光设备以及一种回收抛光垫的方法,该方法能够提高抛光垫的回收效率
机译: 抛光垫,抛光垫的处理方法以及使用该抛光垫的基板的制造方法