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一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法

摘要

本发明公开了一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法,用含有磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆填充模具片的凹陷,至预定的深度后停止,其中,模具片的凹陷为规则排列;将模具片放在陈化筒内进行加热陈化60~80min,固化温度为75~80℃;用无磨粒的叠合粘合剂对加热陈化后的模具片的凹陷进行填充,至预定的深度后停止,随后自然风干;将自然风干后模具片进行脱模得到陈化研磨层,通过叠合粘合剂将研磨层与基底材料进行粘合,并进行固化,得到抛光垫;通过陈化可以提高抛光垫的工艺性能,且陈化过程中磁铁产生磁场可以吸附磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆内具有磁性的分子,减小抛光垫内材料之间的间距,提升抛光垫的性能。

著录项

  • 公开/公告号CN113910119A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;

    申请/专利号CN202111194922.7

  • 发明设计人 徐暎昊;

    申请日2021-10-13

  • 分类号B24D18/00(20060101);B24B37/20(20120101);B24B37/00(20120101);

  • 代理机构33266 杭州融方专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人沈相权

  • 地址 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号

  • 入库时间 2023-06-19 13:52:41

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