用于等离子体辅助蚀刻金属氧化物的方法

摘要

本公开描述了用于等离子体辅助蚀刻金属氧化物的方法。方法包括用第一气体修饰金属氧化物的表面，通过配位基交换反应去除金属氧化物的顶部，以及用第二气体清洁金属氧化物的表面。