一种便于维护内部结构的氦质谱检漏仪

摘要

本发明公开了一种便于维护内部结构的氦质谱检漏仪，涉及氦质谱检漏仪技术领域。该便于维护内部结构的氦质谱检漏仪，包括组合机构、控制器本体、衔接机构、检测机构和设备安装机构，所述控制器本体固定安装于组合机构内，所述衔接机构安装于检测机构与控制器本体之间，所述设备安装机构滑动安装于检测机构内部，本发明通过设置的组合机构，便利于利用组合框架对控制器本体进行快速的安装拆卸维护，满足设备使用维护需求，同时抽气泵机体顶端表面开设的维护槽，便利于打开抽气泵机体后表面卡扣安装的后盖和顶盖后，对抽气泵机体内部结构进行维护，避免传统设备需要完全拆卸才可以进行检修维护的情况发生。