公开/公告号JP2012242198A
专利类型
公开/公告日2012-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 ULVAC JAPAN LTD;
申请/专利号JP20110111104
发明设计人 SETO NORIMASA;NAKAJIMA TOYOAKI;MATSUMOTO YOSHIKAZU;NAKAMURA DAISUKE;TANAKA RYOTA;MAEDA AKIHIRO;
申请日2011-05-18
分类号G01M3/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:58:06