一种基于PZT-5型陶瓷晶片堆叠烧结方法

摘要

本发明涉及一种基于PZT‑5型陶瓷晶片堆叠烧结方法，包括如下步骤：配料；混料；预烧；粉料细化；增塑；成型与排塑；制备烧结垫料，同时陶瓷生坯的颗粒与二氧化锆粉体混合研磨；陶瓷烧结；上电极和极化处理；压电性能测量。本发明申请在PZT‑5型压电陶瓷工艺的基础上，引入二氧化锆粉体。通过行星式球磨机与PZT‑5型压电陶瓷熟料粉球磨混合，制备成一种新型烧结垫料，铺洒于生坯晶片表面有助于降低晶片中PbO的挥发，提高陶瓷的电性能，改善晶片粘连的现象。