一种基于硅导电的MEMS电化学振动传感器敏感电极及其制造方法

摘要

本发明公开一种基于硅导电的MEMS电化学振动传感器敏感电极及其制造方法。所述电极包括：基底；基底正背面绝缘层；正面绝缘层包括绝缘设置的第一区域和第二区域；背面绝缘层包括绝缘设置的第三区域和第四区域；第一区域和第三区域包括阳极接入面，每个阳极接入面上有阳极电压接入处和至少一个阳极接入孔；第一阴极形成于第二区域上；多个流道孔位于第二区域内；阳极接入孔和流道孔贯穿正背面绝缘层和基底；第二阴极，形成于第四区域上；流道孔侧壁阳极，形成于流道孔的内侧壁上，分别与第一阴极、第二阴极绝缘设置。使用硅导电的引线方式，无需占用硅片表面面积将每一个流孔侧壁的阳极引出，增加硅片表面的阴极面积，提高器件灵敏度。