一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置

摘要

本发明提供了一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置，属于非球面光学元件加工技术领域，包括机床主体、旋转主轴气囊沥青抛光头、偏心运动模块和摆动模块，第一偏心运动模块和第二偏心运动模块之间形成转动副；旋转主轴可旋转地设置于第一主体上，气囊沥青抛光头固定于旋转主轴上，第一偏心运动模块固定于气囊沥青抛光头上，摆动模块一端与第二偏心运动模块固定，另一端与第二主体可滑动连接。本发明的提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置，通过偏心运动模块和摆动模块实现主轴气囊沥青抛光头的平面摆动，区别于传统沥青抛光中的偏心公转加自转、偏心公转的运动形式，实现非球面光学元件的表面粗糙度加工达到为深亚纳米级。