一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材

摘要

本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。