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场效应管及其制造方法以及场效应管的工作方法

摘要

本发明公开了一种场效应管及其制造方法以及场效应管的工作方法,该场效应管包括场效应管本体,其中,所述场效应管本体采用二氧化钒材料形成且其中掺杂有氢离子;栅极,所述栅极设于所述场效应管本体的上端面;源极以及漏极,所述源极设于所述场效应管本体的第一侧面,所述漏极设于所述场效应管本体的第二侧面,其中,所述第二侧面与所述第一侧面相对。本发明中的场效应管具有开关比更高、开关速度更快、功耗更低的优势,利于推动半导体器件的发展。

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