公开/公告号CN113488538A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院);
申请/专利号CN202110600728.8
申请日2021-05-31
分类号H01L29/78(20060101);H01L29/808(20060101);H01L29/24(20060101);H01L21/34(20060101);
代理机构34115 合肥天明专利事务所(普通合伙);
代理人张梦媚
地址 230013 安徽省合肥市新站区文忠路999号
入库时间 2023-06-19 12:49:58
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