一种自卷曲交指结构的静电微执行器

摘要

本发明公开一种自卷曲交指结构的静电微执行器，属于自动控制和微纳技术领域。包括在硅衬底片上自卷曲形成多圈管状的自卷曲微管；自卷曲微管自外向内依次包括第一保护层、应力层、导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲，导电层为良导体材料制成的交指结构。卷曲之后在两端馈线通不同电压，形成电势差。交指结构的尺寸以及每圈交指的数目都对变形效果产生影响。该静电微执行器最大变形情况下可实现维度转换，从平面结构到立体结构再到平面结构，相比于静电悬臂梁等微执行器，在形变位移上具有明显优势。自卷曲技术实现了小电极间距，极大程度的利用了静电力。