用于在溅镀期间冷却双面SIP器件的冷却设备和过程

摘要

用于在溅镀期间冷却双面SIP器件的冷却设备和过程。一种半导体制造设备具有冷却垫，所述冷却垫具有多个可移动销。冷却垫包括流体路径和设置在流体路径中的多个弹簧。多个弹簧中的每个设置在相应的可移动销的下方。衬底包括设置在衬底的表面之上的电部件。衬底设置在冷却垫之上，电部件朝向冷却垫定向。将力施加到衬底以压缩弹簧。可移动销中的至少一个与衬底接触。冷却流体被设置成通过流体路径。