致密高介电钡钽氧氮化物陶瓷及其制备方法

摘要

本发明公开了一种致密高介电钡钽氧氮化物陶瓷及其制备方法，钡钽氧氮化物陶瓷包括将钡钽氧氮化物陶瓷粉体与乙醇混合均匀，球磨后干燥并过筛，得到预烧结粉体，将预烧结粉体在加压、保护气氛条件下或者在加压、真空条件下进行放电等离子烧结，烧结温度为1200℃～1300℃，经冷却，得到陶瓷初烧结体，将陶瓷初烧结体在氨气气氛、无机械压力条件下进行二次烧结，降温冷却后，得到致密高介电钡钽氧氮化物陶瓷。本发明的制备方法周期较短，制得的致密高介电钡钽氧氮化物陶瓷致密度高、介电常数高、纯度高，有广泛的应用前景。