公开/公告号CN113358251A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中化天康科技(南京)有限公司;中国化学工程第十四建设有限公司;
申请/专利号CN202110312564.9
申请日2021-03-24
分类号G01L1/22(20060101);
代理机构32206 南京众联专利代理有限公司;
代理人郭微
地址 210044 江苏省南京市江北新区大厂街道新华路148号
入库时间 2023-06-19 12:30:38
机译: MEMS MEMS压阻式压力传感器及其制造方法
机译: 压阻式绝对压力传感器-在压力传感器中安装了柔性硅集成电路电阻器
机译: 压阻式绝对压力传感器-在压力传感器中安装了柔性硅集成电路电阻器