一种双面型MEMS热式气体流量传感器及其制造方法

摘要

本申请涉及一种双面型MEMS热式气体流量传感器，在中间键合层两侧分别成型加热电阻结构和测温电阻结构，加热电阻与测温电阻被分开，使加热电阻对测温电阻产生的影响最小化，提高测量的精确度。