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机译:一种用于光学MEMS应用的使用多层SOI工艺的双梳状驱动器的自对准制造方法
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机译:带光学镜外部安装镜的长臂梳状驱动旋转执行器的设计与制造
机译:光学应用的多向双梳状驱动器
机译:一种用于光学MEMS应用的使用单个SOI晶片的垂直梳状驱动器的新颖制造方法
机译:微机电结构的优化设计和制造:应用于梳齿驱动器
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:具有自对准制造工艺的高速硅光调制器