一种大口径光学元件智能搬运工装

摘要

一种大口径光学元件智能搬运工装，主要由传感器反馈的智能调节夹具模块以及具有电永磁吸附式的U型电机升降台组成。米级大口径非球面光学元件安放在工装夹具台上，通过四边刚性夹具块进行固定装夹。夹具台底座具有压力检测反馈调节系统。夹具台底座与U型电机升降台通过电磁吸附系统配合，实现工件、夹具台整体与U型电机升降台的吸附与分离。通过设计带有应变式压力传感器以及压电促动器的工件夹具，实现对米级大口径元件重力分布非均匀性造成的工件托板形变不均进行实时反馈补偿，从而保障光学元件超精密加工的工件定位精度。同时，通过电永磁吸附式的U型升降台，实现工件以及智能夹具系统的整体移动、上下料流程。