一种硅片粉尘误判为线痕的过滤系统及过滤方法

摘要

本发明公开一种硅片粉尘误判为线痕的过滤系统，包括激光检测模块、粉尘误判过滤模块，激光检测模块获取检测硅片至少两个位置的线痕值，粉尘误判过滤模块用于将检测硅片中线痕比率大于修正系数的最大线痕值过滤，输出次大线痕值，线痕比率为检测硅片的最大线痕值与次大线痕值的比值，所述修正系数为合格硅片最大线痕值上限加上灰尘直径后与次大线痕值上限的比值。通过粉尘误判过滤模块对主要产生影响的灰尘等附着物叠加计算的线痕值进行过滤，有效减少线痕值不良的误判率，过滤过程自动化程度高，过滤精度高，实用性强。