一种氧化金属表面抑制金刚石刀具化学磨损的方法和装置

摘要

本发明涉及一种氧化金属表面抑制金刚石刀具化学磨损的方法，在金刚石刀具进行超精密加工时，通过多能场辅助技术增加加工区域环境介质的氧化能力，在加工区域表面形成氧化膜；所述多能场辅助技术是指在所述金刚石刀具周边施加化学能或光能和化学能组合能量来增加加工区域表面的氧化膜的形成速率和厚度。本发明能够抑制金属催化金刚石刀具石墨化，减小其化学磨损。