法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):E06B 7/28 专利申请号:2021104939076 申请公布日:20210806
发明专利申请公布后的驳回
机译: MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
机译: 例如在光敏器件中使用的基于裸眼的衍射光调制器。光学存储器,具有上微镜,该上微镜在中心包括开孔,因此它根据上微镜和下微镜之间的高度差反射/衍射入射光
机译: 镜组,特别是对于微投影仪,包括使用MEMS技术制成的微镜