一种使用团簇束能量在表面上完成反应与刻蚀的方法

摘要

一种使用团簇束能量在表面上完成反应的方法，包括以下步骤：形成挥发性反应物物种的簇，其包含2至约10,000个单元，每个单元包含反应物物种；电离团簇向表面加速，并撞击表面上的团簇，从而团簇分解并为表面的化学反应提供反应物和能量；其中每个单元是原子或分子；其中所有反应物物种都包含在所述簇的单元中；其中至少一种反应物包含在一个簇中，并且至少一种反应物存在于表面上。