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机译:Cl_2气体团簇离子束刻蚀金属材料
Al; Cl_2; Cluster ion beam; Ni; Reactive etching; Sputtering yield;
机译:Cl_2气体团簇离子束刻蚀金属材料
机译:耐酸蚀材料在乙酸蒸气下的气团离子束刻蚀
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机译:电离簇束技术:汽化固体材料形成束流束及其在膜沉积中的应用
机译:用于3D多材料纳米结构制造的离子束蚀刻再沉积
机译:离子梁设计功能无机材料。通过使用离子簇束法产生的巨型磁阻颗粒膜。
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