机译:极性,半极性和非极性AlN的ICP-RIE蚀刻:Cl_2 / Ar和Cl_2 / BCl_3 / Ar等离子体化学性质和表面预处理的比较
机译:N_2 / Cl_2 / BCl_3和Ar / Cl_2 / BCl_3气体化学中Al_2O_3薄膜的刻蚀性能
机译:在感应耦合等离子体中使用Ar / CHF_3,Ar / Cl_2和Ar / BCl_3气体化学方法对TiN膜进行干法刻蚀
机译:氮化硼和氮化镓材料中的反应离子蚀刻Cl_2 / Ar和Bcl_3 / Cl_2 / Ar化学物质中的氮化镓材料
机译:等离子体反应离子蚀刻引起的氮化镓损伤。
机译:新型2D结构材料:碳镓氮化物(CC-GaN)和硼-氮化镓(BN-GaN)异质结构—通过密度函数进行材料设计理论
机译:离子能量对反应离子刻蚀引起的氮化镓光学损伤和退火的影响
机译:在Cl(2)/ Xe,Cl(2)/ ar和Cl(2)/ He中的III-氮化物的电感耦合等离子体蚀刻;材料研究学会Internet Journal of Nitride semiconductor Research