半导体肖特基整流器装置

摘要

构建于衬底上方的外延半导体层中的半导体肖特基整流器具有从外延层的表面延伸的阳极结构及阴极结构。所述阳极接触结构具有在所述外延层附近的沟槽结构及覆盖有栅极氧化物层的垂直侧壁表面。所述阴极结构进一步包括邻近所述栅极氧化物层的多晶硅元件。