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高分辨率激光诱导正向转移

摘要

在用于激光诱导正向转移(LIFT)的方法和系统中,根据非高斯强度分布(Ixy)来传递能量(E1、E2),该强度分布(Ixy)在供体材料(11m)的界面(11xy)上进行空间上的调整,以使供体材料(11m)从供体衬底喷射作为延伸射流(Je),该延伸射流(Je)在转移周期(Tt)期间暂时地桥接供体衬底(11)与接收衬底(12)之间的转移距离(Zt)。强度分布(Ixy)的中心处的局部增强的强度尖峰(Is)使供体材料的相对厚的射流(J1)在供体衬底(11)和接收衬底(12)之间的分支位置(J12)处分支成相对薄的射流(J2)。厚的射流(J1)允许相对大的转移距离(Zt),而薄的射流(J2)沉积相对小的供体材料(11m)的液滴(Jd)。

著录项

  • 公开/公告号CN113165379A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 荷兰应用自然科学研究组织TNO;

    申请/专利号CN201980080372.0

  • 发明设计人 加里·阿鲁蒂诺夫;

    申请日2019-12-03

  • 分类号B41J2/005(20060101);B23K26/00(20140101);H05K3/00(20060101);B23K3/06(20060101);

  • 代理机构11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人王达佐;王艳春

  • 地址 荷兰海牙

  • 入库时间 2023-06-19 11:57:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-11-11

    授权

    发明专利权授予

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