声明
第一章 绪 论
1.1 激光诱导正向转移技术简介
1.1.1 激光与物质相互作用原理
1.1.2 激光诱导正向转移技术
1.1.3 LIFT技术国内外研究现状
1.2 透明导电薄膜
1.2.1 透明导电薄膜简介
1.2.2 透明导电氧化物薄膜及其分类
1.2.3 AZO薄膜的改性研究
1.3 本文研究意义与内容
1.3.1 研究意义
1.3.2 研究内容
第二章 金属薄膜的激光热效应研究与数值模拟
2.1 激光辐照金属材料体热效应研究
2.2皮秒单脉冲激光辐照下金属薄膜热效应研究
2.2.1 一维双温模型
2.2.2 单脉冲皮秒激光辐照银膜的数值模拟
2.3 纳秒单脉冲激光辐照下金属薄膜热效应研究
2.3.1 纳秒脉冲作用下的双温模型
2.3.2 单脉冲纳秒激光辐照银膜的数值模拟
2.4 多脉冲激光辐照下金属薄膜的热效应研究
2.4.1 多脉冲累积效应
2.4.2 高重频激光脉冲扫描作用对薄膜温度的影响
2.5 本章小结
第三章 实验系统设计以及样品制备与表征
3.1 皮秒激光加工系统
3.2 转移基片的制备
3.2.1 薄膜衬底的清洗
3.2.2 磁控溅射法制备银薄膜
3.3 接收基片的制备
3.4 薄膜样品表征方法
3.4.1 样品光学性能的测量分析
3.4.2 样品电学性能的测量分析
3.4.3 样品表面形貌的表征和薄膜成分的测定
3.4.4 样品表面粗糙度以及形貌分析
3.4.5 薄膜品质因子
3.5 本章小结
第四章 皮秒激光诱导银膜转移以增强AZO薄膜光电性能的研究
4.1 实验参数的确定
4.2 30nm银膜的ps-LIFT沉积
4.3 50nm银膜的ps-LIFT沉积
4.4 100nm及以上厚度银膜的ps-LIFT沉积
4.5 多次转移对薄膜综合光电性能的影响
4.5.1 30nm银膜转移一次与转移两次的结果对比
4.5.2 50nm银膜转移一次与转移两次的结果对比
4.6 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间的科研成果
江苏大学;
