液位沉降法制备AZO薄膜及其光电性能研究

摘要

以二水乙酸锌为原料，乙二醇甲醚和无水乙醇为溶剂，乙醇胺为稳定剂，六水合氯化铝为掺杂剂合成AZO 前驱液，采用自制的液位沉降装置在玻璃衬底上制备AZO 薄膜。对实验条件进行了正交设计，考察得到了此方法制备AZO 薄膜的优化条件。用XRD、UV-Vis、AFM、四探针、台阶仪等方法对薄膜进行表征。结果表明应用液位沉降法制备AZO 薄膜的优化条件为：溶胶浓度为0.5mol/L、Al3+/Zn2+浓度比为4at%、干燥温度100℃，干燥时间10min、预处理温度450℃、镀膜层数为20 层，液位沉降速度为5cm/min、预处理时间为10min、550℃退火 2 小时，相应的得到薄膜透光率为88%，方块电阻为536Ω/□。