光罩及光罩缺陷检查的方法

摘要

本发明提供一种光罩及光罩缺陷检查的方法，在光罩的切割道区域设置标记图形，并以标记图形的坐标为参考点建立光罩的缺陷检查程式，以实现完全offline的情况下建立光罩缺陷检查程式，不用占用其他光罩的扫片时间来建立缺陷检查程式，提升扫片机台利用率；且通过借助标记图形的坐标为参考点建立光罩的缺陷检查程式，可以大大缩短缺陷程式建立周期，节省人力。进一步的，本发明可以以标记图形为光源校准点和切割道特征图形校准点进行图像校准，实现多层光罩的缺陷检查程式有相同的光源校准点和切割道特征图形校准点，增加缺陷检查程式的共性，进一步节省程式建立时间以及程式共用几率，一定程度上提高机台的检查效率。