光罩用基板、光罩用基板的成形构件、光罩用基板的制造方法、光罩、及使用光罩的曝光方法

摘要

本发明是厚度实质上均一的光罩用基板，其具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及第2面。第1面呈由相对向的第1组的边、及相对向的第2组的边构成的四边形，沿着第1组的各边的端部具有支持部。以第1面实质上呈铅直状态的方式保持光罩用基板时，将与第1面中心点处的第1面的切平面平行的参照平面，定义在对光罩用基板而言比第2面接近第1面的一侧。此时，第1面的中心点与参照平面之间的沿着厚度方向的第1距离，短于第2组的各边的中点与参照平面之间的沿着厚度方向的第2距离。