レテクル自動搬送機に対応可能なユニバーサルレテクルポッド

摘要

半導体デバイスの高性能·低コストに最も有効な方法が微細化であり高速動作と低消費電力実現のために微細化は益々加速されていくであろう。 この微細化を支えているのがリソグラフィー技術でありフォトマスクは露光装置、レジスト材料と共にキーテクノロジーの一つである。