用于超紫外光微影术光罩盒的开关器

摘要

一种用于远紫外光RSP的两级罩盒开关器包括一外RSP罩盒开关器，其具有：一RSP闩锁机构，用于将一密封的外RSP罩盒锁在该外RSP罩盒开关器上的适当位置；以及一RSP锁紧/解开机构，用于解开该RSP罩盒，因此该RSP罩盒开关器能够将一RSP罩盒盖与一RSP罩盒门分离。在RSP锁紧/解开机构将该RSP罩盒解开之后，该RSP罩盒开关器将该RSP罩盒门与该RSP罩盒盖分离，从而露出一金属盒。该罩盒开关器亦包括一金属盒开关器，其具有至少两个手臂用于容纳及支撑该金属盒盖，同时该两级罩盒开关器将该金属盒底座与该金属盒盖分离，从而露出在该金属盒底座上所装载的裸光罩。