一种常压HVPE制作珊瑚状多晶氮化镓晶体的方法

摘要

一种常压HVPE制作珊瑚状多晶氮化镓晶体的方法，其特征如下：1)在载盘上放上直径1mm左右的种子颗粒，间隔10mm左右；2)向反应区内通入氮气和氢气、升温到900‑1000℃并保持10分钟，清洁种子表面水分和氧分等杂质；3)通过加热炉分别将反应区和生长区温度分别控制在850‑900℃和950‑1000℃，并在温度达到稳定时通入氨气10‑30分钟、用以氮化种子表面；4)在生长区温度达到1000‑1020℃，以0.05mol‑0.4mol/小时的量通入氯化氢，持续30‑90分钟生成菜花状氮化镓；5)在生长区温度继续升温至1020‑1070℃度时，以约0.05mol‑0.2mol/小时的量持续通入氯化氢气体，生长时间2‑100小时后即可获得呈珊瑚状氮化镓成型体。