一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置，包括底座、载环盘、悬环盘、第一副架与第二副架，所述载环盘固定安装与底座的上表面，所述第一副架固定安装于底座与载环盘的右侧壁，所述载环盘与悬盘通过支撑杆进行固定安装；采用电磁线圈产出电磁力，通过对圈数已知的螺旋线圈，以及控制输入电流值，即可计算得到电磁力值，电磁力与输入的电流呈线性关系，所以可通过电磁力产生装置对微悬臂探针连续施加作用力；探针在滑架的带动下，能够实现对探针的微位移控制；通过激光测距仪可测得探针的位移值；因此采用本发明可获得精确的电磁力值和精确的探针微悬臂弯曲变形量，通过计算即可精确地标定出显微镜微悬臂的弹性系数。