一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备

摘要

本发明公开了一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备，所述柔性膜包括用于接收基板的底板部；圆环状的边缘侧壁，该边缘侧壁具有沿所述底板部的周缘向上延伸形成的直立部、从直立部上端朝上延伸形成的竖向延伸部、从竖向延伸部朝上向内拱起的凸起部和从所述凸起部下端向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部；以及与所述边缘侧壁同心相邻设置的内侧壁，所述内侧壁在其顶端具有弯向内侧水平延伸的第二水平延伸部；所述凸起部的壁厚小于所述底板部的壁厚。