一种基于面外振动的五质量块双轴检测硅微谐振式陀螺

摘要

本发明公开了一种基于面外振动的五质量块双轴检测硅微谐振式陀螺，包括第一质量块、极板衬底、传递梁、2个处于对称位置敏感Y轴角速度的质量块、2个处于对称位置敏感X轴角速度的质量块、检测梳齿、锚点、杠杆支撑梁和边框。利用第一质量块与极板衬底形成电容结构使第一质量块产生Z轴方向上的简谐振动，通过第一质量块与其他四个质量块之间的支撑梁将该简谐运动传递到其他四个质量块上，使其他四个质量块实现与第一质量块相同的Z轴方向上的简谐运动，当X轴或Y轴方向的角速度发生，在四个质量块上产生科式力，通过梳齿检测结构实现对X轴和Y轴方向的角速度检测。本发明实现了面外振动五质量块双轴角速度的实时、高精度、高灵敏度的测量。