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雾发生装置以及雾成膜方法和雾成膜装置

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摘要

一种雾发生装置，为了在被处理物(P)的表面堆积由材料物质构成的层，将包含含有材料物质的微粒或分子的溶液的雾(Mst)的载气(CGS)喷雾至被处理物(P)的表面。雾发生装置具备：雾发生部(14)，将溶液雾化，送出包含雾(Mst)的载气(CGS)；以及紫外线照射部(20B)，在直至来自雾发生部(14)的载气(CGS)被喷雾至被处理物(P)的表面为止的流路中，对通过载气(CGS)而悬浮的雾(Mst)照射波长400nm以下的紫外线光。

著录项

  • 公开/公告号CN112752616A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社尼康;

    申请/专利号CN201980063513.8

  • 发明设计人 西康孝;

    申请日2019-07-18

  • 分类号B05B17/04(20060101);B05C9/10(20060101);B05D1/02(20060101);B05D3/06(20060101);C23C16/448(20060101);C23C16/455(20060101);C23C24/08(20060101);H01L21/205(20060101);H01L21/31(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人于洁;庞东成

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 10:51:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-14

    授权

    发明专利权授予

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