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Mist generating device, film forming device, mist generating method, film forming method, and device manufacturing method

机译：雾产生装置，成膜装置，雾产生方法，成膜方法和装置制造方法

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摘要

The mist generating device MG1 for generating the mist MT containing the fine particles NP includes a container 30a holding a dispersion liquid DIL containing fine particles NP (DIL) in the dispersion liquid (DIL) in the dispersion liquid (DIL) by applying the dispersion liquid (DIL) in the dispersion liquid NP to the dispersion liquid DIL in the container 30a at a second frequency for generating the mist MT.

机译：用于产生包含细颗粒NP的雾MT的雾产生装置MG1包括容器30a，该容器30a通过施加分散液来保持分散液DIL，该分散液DIL在分散液（DIL）中的分散液（DIL）中包含微粒NP（DIL）。分散液NP中的（DIL）到容器30a中的分散液DIL以第二频率产生雾MT。

著录项

公开/公告号KR20180122342A

专利类型
公开/公告日2018-11-12

原文格式PDF
申请/专利权人 가부시키가이샤 니콘;
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申请/专利号KR20187025355
发明设计人 나라 게이;니시 야스타카;나카즈미 마코토;이와호리 고이치로;야마다 겐타로;스즈키 료코;
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申请日2017-03-07
分类号B05B17/06;B05D1/02;B05D1/12;B05D7/24;G03F7/20;H01B13;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/67;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:52:31

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