公开/公告号CN112670158A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-16
原文格式PDF
申请/专利号CN202011101740.6
申请日2020-10-15
分类号H01L21/02(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人于辉;杨仁海
地址 法国巴黎
入库时间 2023-06-19 10:38:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 专利申请号:2020111017406 申请日:20201015
实质审查的生效
机译: 取向硅衬底上硒化镓(Gase)外延的方法(111)
机译: 取向硅衬底上的硒硒(Gase)外延方法[111]
机译: 在定向硅衬底上的硒醇(Gase)外延方法[111]