光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法

摘要

本发明公开了一种光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法，本发明补偿干涉测量装置包括干涉仪、二维姿态调整平台和三维平移台，所述干涉仪安装固定在二维姿态调整平台上，所述二维姿态调整平台安装固定在三维平移台上，所述干涉仪内部设有探测器以及内部光路系统，所述干涉仪的出光口设有球面镜头，且所述干涉仪的外部光路上安装有针孔板和补偿器，可用于光学面形局部大误差的补偿干涉测量，具有结构简单，光路容易对准的优点；本发明方法基于零位补偿的激光波面干涉原理，测量的分辨率和精度都很高，动态范围大，能测得全口径测量时无法解析的局部大误差，通过多个不同部位的测量数据的拼接，能获得被测镜面上全口径可解析的面形误差。