抗干扰型SPM-LD实时面形干涉测量仪

摘要

本文研制出一种抗干扰型滤波鉴相式实时正弦相位调制(SPM)面形干涉测量仪,阐明了其工作原理。此干涉仪包括反馈控制子系统和实时运算电路、归一化电路、位移计算电路。反馈控制子系统从干涉信号中取出一个点的干涉信号作为反馈信号注入半导体激光器(LD)使其波长改变,将外界干扰产生的相位误差减小到可以忽略的程度。利用归一化技术消除了系统内部参数漂移对测量精度的影响；利用硬件相位解包裹,减少了测量时间。对于60×60个测量点,其重复测量精度优于3nm,测量时间小于11ms。