光干渉式表面形状測定装置SPによる微細バンプ高さの高精度管理

摘要

非接触，非破壊，高精度，広視野という優れた特長を持つ光干渉計測法は，半導体，ディスプレイ， 電子機器，光学素子，精密機械部品などの3次元形状測定・検査に広い応用が期待される。光干渉式 表面形状測定装置SPシリーズは，すでに多くの分野で利用されている。本稿では，実装分野への適 用例を紹介する。最新の実装プロセスの課題解決に貢献できれば幸である。