一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法

摘要

一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样，计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。