光学面形的轮带光学抛光方法研究

摘要

鉴于光学零件高陡度凹曲面的抛光是光学加工的一个难题,轮带光学确定性抛光方法是解决此类零件抛光的有效方法之一;提出轮带光学抛光技术的原理和方法.研究了轮带光学抛光方法修形的可行性,采用五轴精密数控机床系统对一块直径Φ80 mm的K9玻璃平面样镜进行了修形试验,经过3次迭代修形使其面形精度均方根误差(RMS)由初始的0.109 λ提高到0.028 λ,平均每次收敛率达到1.3.实验结果表明,应用轮带光学抛光技术进行光学镜面修形,面形收敛速度较快,加工精度较高.本实验验证了轮带光学抛光技术的修形能力,为高陡度光学零件的抛光提供了研究基础.