公开/公告号CN112504546A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-16
原文格式PDF
申请/专利号CN202011252444.6
申请日2020-11-11
分类号G01L11/02(20060101);G01L11/00(20060101);B81C99/00(20100101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人黄媛君
地址 511370 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
入库时间 2023-06-19 10:16:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-06
授权
发明专利权授予
机译: 晶圆级气密封装和晶圆级气密封装方法
机译: 气密封装的设备,以及在晶圆级气密封装至少一个设备的方法
机译: 晶圆级封装和包括该晶圆级封装的电子系统