公开/公告号CN112466802A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利号CN202010920362.8
申请日2020-09-04
分类号H01L21/68(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人李丽
地址 日本福冈县
入库时间 2023-06-19 10:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/68 专利申请号:2020109203628 申请日:20200904
实质审查的生效
机译: 具有晶片预对准单元的曝光设备和使用晶片预对准单元的晶片预对准方法
机译: 具有晶片预对准单元的曝光设备和使用晶片预对准单元的晶片预对准方法
机译: 晶片预对准装置,其判断晶片存在的方法,感测晶片边缘位置的方法,具有用于执行该位置感测方法的记录程序的计算机可读记录介质,用于感测晶片边缘位置的装置以及预对准传感器