机译:使用自对准预蚀刻图案确定Si {111}晶片上的精确晶体学方向
机译:使用新型自对准预蚀刻技术精确识别Si {001}晶片上的<1 0 0>方向
机译:测量自由预蚀刻图案以识别Si {110}晶片上的<110>方向
机译:基于湿法刻蚀(111)晶片的单晶硅纳米壁结构的精确宽度控制
机译:使用各种缓冲层在硅(111)晶圆上生长和表征氮化铝镓/氮化镓异质结构。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:掩模图案精确对准硅晶片晶体取向的研究
机译:硅中主要晶体方向电离率的测定。