公开/公告号CN112272691A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 昭和电工材料株式会社;
申请/专利号CN201980038462.3
申请日2019-06-06
分类号C09J7/38(20060101);C09J5/00(20060101);C09J5/02(20060101);C09J201/00(20060101);H01L21/301(20060101);H01L21/52(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人白丽
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 09:40:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-28
授权
发明专利权授予
机译: 划片带,划片/固晶双功能带以及使用划片/粘片双功能带的半导体器件制造方法
机译: 粘晶硅片的制造方法及制造装置
机译: 切割片,切割/粘片,半导体装置的制造方法