多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法

摘要

本发明涉及多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法，属于多晶硅生产技术领域。本发明的技术方案包括以下步骤：按一定配比投入四氯化硅、水和低级脂肪醇ROH进行化学反应，得到含烷氧基硅烷低聚物和氯化氢的反应料，加入赶酸剂携带氯化氢脱出，加入碱性物质中和至pH6～8，脱色过滤，得成品烷氧基硅烷低聚物。本发明方法为多晶硅副产物四氯化硅的回收处理提供一种新的途径，且生产能力大，设备投资少，控制方便，对环境无污染，有利于工业化生产。此外，使用含水低级脂肪醇代替无水低级脂肪醇一步法生产烷氧基硅烷低聚物，减少了操作步骤，进一步降低了生产成本。