多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法

摘要

本发明涉及多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法，属于多晶硅生产技术领域。本发明所要解决的技术问题是提高四氯化硅的经济利用价值，同时解决四氯化硅的环境污染和危害问题。本发明的技术方案包括以下步骤：1）化学反应：四氯化硅与低级脂肪醇进行化学反应得到含四烷氧基硅烷和氯化氢的反应料；